半导体车间洁净度检测方法

显示全部楼层 · 2023-3-19 10:32

问题:
半导体车间洁净度检测方法

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一、洁净车间洁米旧净度的检测仪器洁净车间洁净度站座个史达亲氢加检测使用尘埃粒子计数器，可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得z诉ui多的是光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在运用中可以对室内空气的含尘量进行造降叫服洋求础县环相自动、连续、及时地对易陈听应测量，并且可以直接它长布父全助它什边封显现瞬时的含尘浓度，也可以对不一样粒径的含尘浓度进行测束吗式就敌气艺量，运用简略、便利、及时、灵活。尘埃粒子计数器有不同的规格，在国标GBJ73-84中规定：对于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，对于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，对于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。对于100级净化车间，宜选用大流量粒子计数器进行测验。二、洁净车间洁净度的检测步骤1. 确定系统的测试调整与平衡已完成，并已修复破损部分。2. 确认测试位置与测试点数。3. 取脱含样时间：每点的取超微西织宁样时间依照等级与粒径不同而变化，若是取亲刑价远铁举宜统啊状样时间小于1分钟，则应以1分钟为准。4. 测试位置应均匀分布在洁净车间内，避免在产生大量粒子的附近，而且仪器应用架台支撑，不可以用手支撑。5. 测量出的点数用公式计哪民职理突丝减讲量。三、洁净车间洁净度的验收标准洁净度的验收标准分两点：1.每点的微粒测量平均值应低于规定值；2.任一隔间若需使用信赖度上xian分析，则该分析值也应小于规定值。尘埃须致断顾尼混粒子计数器是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。它可广泛应用于为各省市药检所、血液中心、防疫站、疾控中心、质量监督所等权威机构、电子行西非溶生威异长级东轻业、制药车间、半导体、光商盐促培师硫学或精密机械加工、塑洲苏乎口执老按哥自觉胶、喷漆、医院、环保、检验所等生产企业和科研部留上地短门。

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